真空壓力傳感器采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚?。陶瓷膜片與瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料,通過(guò)厚膜印刷、熱燒成技術(shù)燒制在一起,形成周邊固支的感力杯狀彈性體,即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無(wú)蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。在陶瓷膜片上表面,即瓷杯底部,用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙,通過(guò)限位可防止膜片過(guò)載時(shí)因過(guò)度彎曲而破裂,形成對(duì)傳感器的抗過(guò)載保護(hù)。
真空壓力傳感器的工作原理:
可使用多種不同的技術(shù)來(lái)提供準(zhǔn)確的結(jié)果。
基于應(yīng)變的傳感器使用應(yīng)變片作為壓力敏感元件,通常是將金屬箔式應(yīng)變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體上。應(yīng)變?cè)淼妮^大優(yōu)點(diǎn)是具有*剛度,可測(cè)量高達(dá)15000bar的*壓力。電連接通常通過(guò)惠斯通電橋完成,具有*的精確性和一致的測(cè)量結(jié)果。
使用壓力腔和膜片來(lái)產(chǎn)生可變電容。當(dāng)施加壓力時(shí),隔膜變形,電容相應(yīng)減小。通過(guò)測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。這些傳感器僅限于大約40bar的低壓。
由一個(gè)主要由硅制成的膜片組成,采用集成的應(yīng)變片來(lái)檢測(cè)施加的壓力而產(chǎn)生的應(yīng)變。通常采用惠斯通電橋來(lái)降低靈敏度并增加輸出。
安裝:
1.保證變送器垂直于地面安裝,安裝過(guò)程中應(yīng)使用扳手從變送器底部的六方螺帽處將變送器擰緊,避免直接旋動(dòng)變送器上部;
2.當(dāng)測(cè)量變化速度較快的壓力時(shí),應(yīng)當(dāng)在變送器和被測(cè)介質(zhì)的連接出口處加裝壓力緩沖裝置,以避免瞬間的脈沖高壓直接沖擊變送器的測(cè)量元件,導(dǎo)致變送器失效。
試運(yùn)行為確保變送器能夠穩(wěn)定準(zhǔn)確的正常工作,測(cè)試壓力前應(yīng)通電預(yù)熱幾分鐘。在壓力測(cè)量過(guò)程中,應(yīng)緩慢加壓和卸壓,避免瞬間加至高壓或降至低壓。
真空壓力傳感器是能感受壓力信號(hào),并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置??梢酝ㄟ^(guò)它們所能測(cè)量的壓強(qiáng)范圍,工作溫度以及壓強(qiáng)類型而進(jìn)行分類;其中最重要的是壓強(qiáng)類型。若依壓強(qiáng)類型分類的方式中,則可以分為這五種:絕對(duì)壓力傳感器、表壓力傳感器、真空壓力傳感器、壓差計(jì)、密封壓力傳感器。