真空壓力傳感器通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件兩部分組成。敏感元件是指?jìng)鞲衅髂苤苯痈惺艿交蝽憫?yīng)被測(cè)物的部分;轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅鞯囊徊糠?,它將敏感元件感受到的或響?yīng)的測(cè)量應(yīng)變轉(zhuǎn)換成適合傳輸或測(cè)量的電信號(hào)。
由于傳感器的輸出信號(hào)一般很弱,需要對(duì)其進(jìn)行調(diào)制和放大。隨著集成技術(shù)的發(fā)展,人們也將這部分電路和電源等電路安裝在傳感器內(nèi)部。這樣,傳感器可以輸出易于處理和傳輸?shù)挠杏眯盘?hào)。過去技術(shù)相對(duì)落后的時(shí)候,所謂的傳感器是指上面的敏感元件,發(fā)送器就是上面的轉(zhuǎn)換元件。
通常是指將變化的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電阻或電容信號(hào)的敏感元件。壓力變送器一般是指由壓敏元件和調(diào)節(jié)回路組成的一套完整的壓力測(cè)量回路單元。一般可直接輸出與壓力成線性關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)電壓信號(hào)或電流信號(hào),供儀表、PLC、采集卡等設(shè)備直接采集。
真空壓力傳感器主要基于壓電效應(yīng)(壓電效應(yīng)),它利用電氣元件和其他機(jī)械將要測(cè)量的壓力轉(zhuǎn)換為電能,然后執(zhí)行相關(guān)的測(cè)量工作。精密儀器,如許多壓力變送器和壓力傳感器。
壓電效應(yīng)可分為正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)。
(1)逆表電效應(yīng)
逆壓電效應(yīng)是指向晶體施加交變電場(chǎng)以引起晶體機(jī)械變形的現(xiàn)象,也稱為電致伸縮效應(yīng)。具有逆壓電效應(yīng)的換能器可用于電聲和超聲工程。壓電變形有五種基本形式:厚度變形、長(zhǎng)度變形、體積變形、厚度剪切和平面剪切。壓電晶體是各向異性的,并非所有的晶體都能在這五種狀態(tài)下產(chǎn)生壓電效應(yīng)。
?。?)正外電效應(yīng)
當(dāng)晶體在固定方向上受到外力時(shí),內(nèi)部會(huì)發(fā)生電極化現(xiàn)象,并在某些兩個(gè)表面上產(chǎn)生與符號(hào)相反的電荷;當(dāng)外力被消除時(shí),晶體恢復(fù)到不帶電狀態(tài);當(dāng)它改變時(shí),電荷的極性也隨之改變;晶體力產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。大多數(shù)壓電傳感器都是利用正壓電效應(yīng)制成的。